环球百事通!安徽芜湖市获批主导制定全国首个电子级乙硅烷行业标准

2023-05-25 10:58:26   来源: CBC金属网    


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据芜湖市市场监管局5月24日消息,工业和信息化部近日下达2023年第一批行业标准制修订和外文版项目计划,安徽亚格盛电子新材料有限公司、芜湖市标准化研究院联合申报制定的《电子级乙硅烷》行业标准获批立项。

电子级乙硅烷主要应用于非晶硅生长、外延生长、化学气相沉积、扩散、离子注入等工艺中,广泛应用在半导体、集成电路、太阳能电池等领域。该行业标准将填补电子级乙硅烷产品标准空白,明确电子级乙硅烷的技术指标,规范不同研制单位对产品质量的控制要求,有助于国产乙硅烷的推广和应用,从而支撑国内半导体产业链的快速发展。该行业标准是市标准化院服务战略新兴产业高质量发展、推动企业在科技成果转化为技术标准上的重要突破,也是芜湖市获批建设安徽省标准化创新中心后的一项重要成果。

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